边缘研磨机
NMPG-450
无论圆形、方形，还是难加工材料，一台设备实现极致倒角加工。
产品特色
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可对应从智能手机、PC到车载应用以及Φ300晶圆等多种基板的高端机型。
配备3组工具主轴：1组外周加工用主轴（Φ90mm、8,000min⁻¹）, 2组孔加工及凹槽加工用主轴（Φ5mm、50,000min⁻¹）。 实现高生产效率，特别适用于复杂形状加工。 对应工件尺寸：圆形Φ50～320mm、方形50～320mm,厚度最大10mm※1。 配备独立驱动的双加工工位。 支持曲面形状基板加工。 小径主轴可选配5工位ATC自动换刀系统（op.）※2 实现砂轮长寿命化，并简化管理工作。 ※1. 部分规格适用条件有限，详情请联系我们。 ※2. 配备ATC时,工具主轴转速为50,000min⁻¹。
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通过视觉相机实现高精度定位
可对各种形状工件进行高精度自动定心，减少加工余量，缩短加工时间并延长砂轮寿命。 通过3种砂轮实现一次装夹复合加工,减少工序并简化生产流程管理。 提高边缘强度，有效抑制崩边和开裂。
加工案例
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SiC晶圆加工案例
可对SiC晶圆、石英光罩等难加工材料实现高速、高精度加工。
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石英光罩加工案例
产品规格
| NMPG-450 | |
|---|---|
| 最大基板尺寸 | φ300、□320㎜ |
| 最小基板尺寸 | φ50、□50㎜ |
| 最大基板厚度 | 10㎜ |
| 工件夹持 | 軸吸着 |
| 砂轮轴数 打孔砂轮轴 | A・B基座各2 |
| 砂轮轴数 外径砂轮轴 | A・B基座各1 |
| 打孔砂轮轴回转速度 | 50,000min-1 |
| 打孔砂轮最大直径 | Φ5mm |
| 外径砥石軸回転速度 | 8,000min-1 |
| 外径砂轮轴回转速度 | Φ90mm |
| 最大砂轮厚度 | 20mm |
※有关详细工件尺寸规格，请联系我们咨询。
